第2928章

    第2928章




    所以巨头们对林姓科学家的态度，不仅仅是不理睬，而是封杀。尼康甚至向弯积电施压，要求雪藏林姓科学家。在现实利益面前，这样的事情还发生过很多，比如柯达其实是最早研发出数码相机的公司，但缺乏自我颠覆的勇气，因为恐惧它威胁到自己的胶片业务，反而是雪藏了数码相机。




    终于当林姓科学家跑到了风车国时，阿斯麦愿意做第一个吃螃蟹的勇士。虽然阿斯麦也是从干式光刻机起家，但它想通过赛马制来赌一把，既然尼康、佳能都在死磕干式法157nm光源，且进展不顺利，那这支“奇兵”的意义就是巨大的。




    最终浸润式成功了。2003年，阿斯麦和弯积电合作研发的首台浸没式光刻设备——twinsCAnxt：1150i出炉，第二年又出了改进版。同年，研发进度拖慢的尼康，终于宣布了157nm的干式光刻机产品样机出炉。




    但此时胜负已定，一面是用原来193nm光源但通过水进化到132nm波长的新技术，一面是157nm波长的样机，浸润式技术的优势不言而喻，这一技术成为此后65、45和32nm制程的主流，推动摩尔定律往前跃进了三代。