第2927章

    第2927章




    于是，林致远，黄秘书再加上韩所长夫妻，还有司机，五个人就在附近找了家饭店，点了几个菜。




    席间，韩所长继续讲他的光刻机技术，当他讲到目前世界上步进扫描光刻机采取的技术路线都是干式法，通过用更高级的曝光光源，来支撑技术进步到下一代。为了追求更高的分辨率，光源波长从最初的365nm，到248nm，再到193nm，但再往下走时，这条技术路径出现了困难。大部分企业选择了在原有技术路径上改进，此时的两大光刻机巨头尼康、佳能，都选择进一步研发157nm波长的光源。




    韩所长说到这里里，林致远突然深吸了一口气，做出了一副不解的神态，“韩所长，我是门外汉，但是我有个问题，当然，这个问题可能是非常幼稚的，您可别笑话我。”




    韩所长手一摆，“林助理，科学就是要大胆假设，小心求证，没有想象力，科学就没办法前行，你有什么问题就直说，我怎么会笑话你呢！”




    林致远小心翼翼的开口了，“韩所长，我们在初中物理课上都学过，水会影响光的折射率，如果在您刚才说的步进扫描光刻机的透镜和硅片之间加一层水，就会降低光的波长，韩所长，你觉得这个方法可行吗？”