我的一九八五解剖老师
第九五五章 交换专利(第2页)
新董事长对世界光刻机行业的现状了如指掌,现场高管惊讶之余,也知道公司的现状,忧心忡忡,都想听听新董事长如何指引方向?“汤普森院长,gCA如今在光刻机领域排名前三位的技术有哪几项?”
“孙董事长,Arf准分子激光器技术世界第一,krf光刻胶技术排在iBm之后。”
麻省理工学院物理学专业博士、五十二岁的美国科学院院士汤普森院长自豪之色溢于言表,gCA曾经是全球光刻机的霸主。
还兼任光刻机光源研究所所长,研究方向就是光刻机光源、Arf准分子激光器。
“gCA将来定位高端光刻机市场,在光源系统方面继续保持行业第一优势的同时,加大投资提升Arf准分子激光器的性能;要与蔡司公司在光学系统紧密合作,签订长期供货合同;公司想在制程工艺精度方面赶上nikon,我认为突破点就在BseC不久前发明的光刻机磁悬浮式双工作台系统上!”
孙健停下来喝口水,不会将浸没式光刻机的研发方向告诉汤普森院长,虽然手背手心都是肉,但血浓于水!
艾德里安和布罗迪眼前一亮。
“艾德里安总经理,公司能否用Arf准分子激光器专利交换BseC的光刻机磁悬浮式双工作台系统专利?”
光源、光学系统和工作台系统是光刻机的三大核心技术,BseC拥有了其一,还是全球独一无二的核心技术!自己先后控股了BseC和gCA,完成了巴克豪斯投资入股的要求,投资蔡司半导体制造公司的股权只是时间问题,光学系统也有了着落,换取gCA的Arf准分子激光器的终身专利授权成为首要之选。
“孙董事长,虽然公司的Arf准分子激光器还保持行业第一,但nikon和等光刻机公司都拥有自己的Arf准分子激光器公司发明专利,我担心BseC不会答应。”
如今世界前十位的光刻机公司都有自己研发的Arf准分子激光器,gCA的Arf准分子激光器不是唯一之选,艾德里安当然担心。